オーナルテック

Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｈｅａｔｉｎｇ Ｓｉｓｔｅｍ ＆Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　Ｈｕｍａｎ　Ｓｅｉｎｃｅをモットーに高性能を発揮するヒーティングシステム、真空装置と加熱システム、超高温や宇宙開発用等の特殊ヒータの設計、開発、製造を行います

ホット＆クールチャック付ヒータ
■ウェハ等の熱特性を測定する為の真空チャック付ヒーターユニットです。室温〜４００℃の範囲で、高精度な温度分布 が得られます。メタル、セラミックス、カーボンタイプの ３タイプからお選びいただけます。４″〜１７″用まで 御用意しております。（標準品以外でも設計、製作可能）。 直流／交流どちらでも使用可能。専用の温度制御装置も御用 意しております。